光学反射镜CCOS研磨阶段边缘效应控制技术

计算机控制光学表面成形技术(CCOS)广泛应用于反射镜的研抛过程,其去除函数通常选用去除效率高、去除稳定的近高斯形函数,但在加工过程中容易出现边缘翘边现象,严重影响反射镜的加工效率和面形收敛率。针对CCOS研磨过程中出现的边缘效应问题,提出一种应用于多自由度机械手的无偏心加工技术,对无偏心工具头的去除函数进行了分析,采用控制变量法研究加工压力、磨头转速和驻留时间等工艺参数对去除效率的影响,并对无偏心盘修边效果进行了试验验证。结果表明,通过对加工压力、磨头转速、磨盘悬挂比以及加工区域等加工参数进行合理调控,无偏心盘可以对翘边进行有效去除,且加工后面形平坦,可以很好地解决边缘效应问题。最后,针对研磨阶段提出了新的工艺流程：采用有偏心修形和无偏心修边相结合的工艺加工方式,可以快速提高反射镜面形加工的收敛效率,实现高效、高精度加工。