| 乙酰丙酮基1,2-双(二苯基膦)乙烷镍的合成、热性质及其作为化学气相沉积前驱体的应用研究 |
| |
| 引用本文： | 张羽翔,李雪仃,王恒,阴文玉,张慧,徐莉佳,张雅鑫,王潚君,秦娜,郭鑫,瞿轩轩.乙酰丙酮基1,2-双(二苯基膦)乙烷镍的合成、热性质及其作为化学气相沉积前驱体的应用研究[J].广东化工,2023(1):7-9. |
| |
| 作者姓名： | 张羽翔 李雪仃 王恒 阴文玉 张慧 徐莉佳 张雅鑫 王潚君 秦娜 郭鑫 瞿轩轩 |
| |
| 作者单位： | 许昌学院化工与材料学院 |
| |
| 基金项目： | 国家大学生创新创业训练计划项目(No.202110480016)；;河南省高等学校重点科研项目(No.21B150018)； |
| |
| 摘 要： | 本文以乙酰丙酮镍和1,2-双(二苯基膦)乙烷为原料合成了乙酰丙酮基1,2-双(二苯基膦)乙烷镍配合物，通过元素分析、熔点以及热重分析仪对所合成配合物的化学成分、挥发性、热稳定性以及运输行为进行了测定分析。此外，以该化合物为前驱体，通过薄膜沉积实验对其作为CVD前驱体的应用性进行了评价，并对所沉积薄膜的形貌、化学组成及晶型结构进行了研究。研究结果表明所制备的薄膜成分为NiO，成膜连续均匀，具有较高的纯度，说明其具有作为CVD前驱体应用于制备镍基薄膜的可行性。
|
| 关 键 词： | 合成 热性质 化学气相沉积 前驱体 镍基薄膜 |
|
|
