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300mm硅片大电流离子注入新工艺
引用本文：青山.300mm硅片大电流离子注入新工艺[J].通讯与元器件,1998(5):7-9.
作者姓名：青山
摘    要：
关 键 词：半导体  硅片  离子注入  硅圆片  芯片
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