| 星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究 |
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| 引用本文： | 余洪斌,陈海清,竺子民,张大成,李婷. 星载自适应光学系统新型可变形反射镜的研究[J]. 压电与声光, 2005, 27(4): 352-355 |
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| 作者姓名： | 余洪斌 陈海清 竺子民 张大成 李婷 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,光电子工程系,湖北,武汉,430074
2. 北京大学,微电子学研究所,微米/纳米加工技术国家重点实验室,北京,100871 |
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| 摘 要： | 给出基于硅微加工技术的一种新型可变形反射镜的设计和加工方法。从静电驱动的角度阐述此种反射镜的结构设计原理,并对具体加工中的腐蚀和键合工艺进行了详细讨论。成功制造出有效反射面积为30 mm×30 mm,拥有49个静电驱动单元的可变形反射镜。
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| 关 键 词： | 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 阳极键合 |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)04-0352-04 |
| 收稿时间： | 2003-11-10 |
| 修稿时间： | 2003-11-10 |
Study of a Novel Deformable Mirror for Adaptive Optics Used in Satellite |
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| YU Hong-bin,CHEN Hai-qin,ZHU Zi-min,ZHANG Da-cheng,LI Ting. Study of a Novel Deformable Mirror for Adaptive Optics Used in Satellite[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2005, 27(4): 352-355 |
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| Authors: | YU Hong-bin CHEN Hai-qin ZHU Zi-min ZHANG Da-cheng LI Ting |
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| Affiliation: | YU Hong-bin~1,CHEN Hai-qin~1,ZHU Zi-min~1,ZHANG Da-cheng~2,LI Ting~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | deformable mirror bulk micromachining electrostatic actuating anodic bonding |
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