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| 添加Li_2CO_3的ZnO陶瓷靶体和薄膜的表面分析 | |
| 作者姓名： | 盛敏华 蔡起善 |
| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所(盛敏华)，四川压电与声光技术研究所(蔡起善) |
| 摘 要： | 本文主要介绍采用AES,XRD等分析仪对添加Li_2CO_3的ZnO靶体和薄膜微观结构和表面状态的进行的分析和讨论. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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