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现代分析技术在薄膜材料研究中的应用
引用本文:晋勇,赵海波,田良,曲敏,胡希川,王玉环. 现代分析技术在薄膜材料研究中的应用[J]. 工具技术, 2003, 37(10): 12-17
作者姓名:晋勇  赵海波  田良  曲敏  胡希川  王玉环
作者单位:1. 四川大学;成都工具研究所
2. 成都工具研究所
摘    要:介绍了几种现代分析仪器和技术的特点及其在薄膜材料研究中的应用情况。指出要充分了解各种分析技术的特点并加以综合运用 ,才能实现对薄膜材料更深入、更全面的认识

关 键 词:薄膜材料  研究  现代分析技术

Applications of Modern Analytical Techniques in Thin Film Material Investigations
Jin yong Zhao Haibo Tian Liang et al. Applications of Modern Analytical Techniques in Thin Film Material Investigations[J]. Tool Engineering(The Magazine for Cutting & Measuring Engineering), 2003, 37(10): 12-17
Authors:Jin yong Zhao Haibo Tian Liang et al
Affiliation:Jin yong Zhao Haibo Tian Liang et al
Abstract:The features of some modern analytical techniques and their applications in thin film material investigations are introduced. It is suggested that the better understanding of the surface of materials cannot be realized unless a thorough understanding of the features of various modern analytical techniques and a combined use of these modern analytical techniques are reached.
Keywords:thin film material   investigations   modern analytical techniques
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