| 人工干预二次形核研究 |
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| 引用本文： | 姜宏伟,孔德贵,刘力,张艳萍,祁文涛,王军.人工干预二次形核研究[J].真空,2013,50(3). |
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| 作者姓名： | 姜宏伟 孔德贵 刘力 张艳萍 祁文涛 王军 |
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| 作者单位： | 牡丹江师范学院新型碳基功能与超硬材料省重点实验室,黑龙江牡丹江,157011 |
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| 基金项目： | 黑龙江省教育厅2009科学技术研究面上项目(项目编号:11541377).牡丹江市科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 采用直流热阴极PCVD技术,在CH4-H2气氛常规制备微米晶金刚石膜的参数条件下,通过人工干预实现二次形核,制备纳米晶金刚石膜.金刚石膜周期性生长过程分为沉积阶段和干预阶段,沉积阶段时间为20 min,干预阶段将沉积温度降低到600℃,时间为1 min,然后恢复到生长温度,一个生长周期为21 min,总的沉积时间为6h.实验分为高、低气压和高、低温度的四种组合,并与连续生长模式进行了对比.采用拉曼光谱仪、SEM对样品进行了分析,除高气压和高温度条件外,其它三组实验的金刚石膜的1332 cm-1拉曼峰展宽明显、金刚石膜晶粒小于100 nm,样品都具有纳米晶特征.结果表明直流热阴极PCVD技术的人工干预方法,可以导致金刚石膜生长过程的二次形核行为发生,制备出纳米金刚石膜.
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| 关 键 词： | 人工干预二次形核 纳米金刚石膜 直流热阴极PCVD |
Research on the manual intervetion induced second nucleation |
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| JIANG Hong-wei
,
KONG De-gui
,
LIU Li
,
ZHANG Yan-ping
,
QI Wen-tao
,
WANG Jun.Research on the manual intervetion induced second nucleation[J].Vacuum,2013,50(3). |
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| Authors: | JIANG Hong-wei KONG De-gui LIU Li ZHANG Yan-ping QI Wen-tao WANG Jun |
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