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| 氧含量对硅片机械强度的影响 | |
| 引用本文： | 谢书银,石志仪.氧含量对硅片机械强度的影响[J].稀有金属,1987(3). |
| 作者姓名： | 谢书银 石志仪 |
| 作者单位： | 中南工业大学 (谢书银)，中南工业大学(石志仪) |
| 摘 要： | 采用氧含量不同的直拉和区熔硅单晶,进行三点弯法测抗弯强度,研究硅中氧含量对硅片强度的影响。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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