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等离子体源离子注入表面改性

引用本文：	吴知非,陈惠敏.等离子体源离子注入表面改性[J].纺织基础科学学报,1992(4):378-384.

作者姓名：	吴知非陈惠敏

作者单位：	[1]中国纺织大学 [2]南通纺织工学院

摘要：
关键词：	等离子体源离子注入表面改性聚酰亚胺薄膜
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