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等离子体源离子注入表面改性
作者姓名：吴知非 陈惠敏
作者单位：[1]中国纺织大学 [2]南通纺织工学院
摘    要：
关 键 词：等离子体源 离子注入 表面改性 聚酰亚胺 薄膜
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