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| 专利名称:一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法 | |
| 摘 要： | 专利申请号:CN201110334975.4公开号:CN102337418A申请日:2011.10.29公开日:2012.02.01申请人:西安瑞福莱钨钼有限公司本发明公开了一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法,该方法为:(1)将铌粉和费氏平均粒度为3～8μm的钼粉按照1∶9的质量比置于混料机中混 |
| 关 键 词： | 溅射靶材 铌合金 制备方法 专利申请号 平均粒度 混料机 申请日 公开 申请人 质量比 |
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