| 微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究 |
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| 引用本文： | 陈吉安,杨春生,周勇,丁桂甫,王莉,王明军,张亚民,张泰华. 微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究[J]. 微细加工技术, 2003, 0(3): 66-71 |
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| 作者姓名： | 陈吉安 杨春生 周勇 丁桂甫 王莉 王明军 张亚民 张泰华 |
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| 作者单位： | 1. 上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030
2. 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展规划(973)资助项目(G1999033103) |
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| 摘 要： | 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190GPa和87MPa。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合。
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| 关 键 词： | MEMS 镍膜微桥结构 弹性模量 残余应力 纳米压痕仪 |
| 文章编号： | 1003-8213(2003)03-0066-06 |
| 修稿时间： | 2003-05-12 |
Investigation of Elastic Modulus and Residual Stress of Nickel Film Microbridges by MEMS Technology |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nickel film microbridge MEMS technology mechanical properties |
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