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真空退火Fe/Pt多层膜的结构和磁性
引用本文:李宝河,黄阀,杨涛,翟中海,朱逢吾.真空退火Fe/Pt多层膜的结构和磁性[J].半导体学报,2005,26(z1):32-35.
作者姓名:李宝河  黄阀  杨涛  翟中海  朱逢吾
作者单位:北京科技大学材料物理与化学系,北京,100083;北京工商大学数理部,北京,100037;北京科技大学材料物理与化学系,北京,100083;金日成综合大学物理系,平壤,朝鲜;北京科技大学材料物理与化学系,北京,100083
摘    要:采用直流磁控溅射方法制备了Fe/Pt多层膜和FePt单层薄膜,并在不同温度下真空热处理得到了有序相L10-FePt薄膜.研究表明,Fe/Pt多层膜化可以降低FePt薄膜有序相的转变温度.Fe(1.5nm)/Pt(1.5nm)]13薄膜在350℃热处理后,有序度已经增加到0.6,而且矫顽力达到了501kA/m.多层膜化促进有序化在较低的温度下进行,这主要是因为原子在多层膜界面扩散更快.

关 键 词:L10-FePt有序相  磁控溅射  有序度  Fe/Pt多层膜
文章编号:0253-4177(2005)S0-0032-04
修稿时间:2004年10月19日

Structure and Magnetic Properties of Vacuum Annealed Fe/Pt Multilayers
Li Baohe,Hwang Pol,Yang Tao,Zhai Zhonghai,Zhu Fengwu.Structure and Magnetic Properties of Vacuum Annealed Fe/Pt Multilayers[J].Chinese Journal of Semiconductors,2005,26(z1):32-35.
Authors:Li Baohe  Hwang Pol  Yang Tao  Zhai Zhonghai  Zhu Fengwu
Abstract:
Keywords:
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