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| 旋转式硅微机械陀螺的研究 | |
| 引用本文： | 王宏伟,腾功清,齐臣杰,江世宇.旋转式硅微机械陀螺的研究[J].微纳电子技术,2007(8). |
| 作者姓名： | 王宏伟 腾功清 齐臣杰 江世宇 |
| 作者单位： | 北京信息科技大学,理学院,北京,100085 北京信息科技大学,理学院,北京,100085 北京信息科技大学,理学院,北京,100085 北京信息科技大学,理学院,北京,100085 |
| 摘 要： | 分析了旋转式硅微机械陀螺的工作原理,建立了该陀螺的数学模型,设计了其敏感结构,计算了陀螺振动元件三个轴向的转动惯量、弹性支撑梁扭转刚度、振动元件角振动阻尼系数等动力学参数,计算分析了陀螺的电容敏感特性.对制作的陀螺进行性能测试的结果表明,该陀螺利用旋转载体自身的旋转角速度作为驱动,从而说明敏感载体的俯仰(或横滚)角速度原理正确,并且理论和试验都说明,当载体自旋角速度不同时,陀螺输出信号的比例系数也不同. |
| 关 键 词： | 旋转 微机械 陀螺 角速度 |
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