| 基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计 |
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| 引用本文： | 尹志生,郑楠,于淼,彭吉,闫丰.基于逆补偿复合控制的抛光液供给系统设计[J].电子测量与仪器学报,2013,27(4):366-371. |
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| 作者姓名： | 尹志生 郑楠 于淼 彭吉 闫丰 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 长春130033 |
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| 摘 要： | 根据磨料水射流抛光加工工艺要求,设计了一套以比例阀和溢流阀为流量调节元件的抛光液供给系统。但由于溢流阀在调节过程中的正反行程工作曲线不重合,导致系统存在较大的迟滞及非线性。针对这一情况,采用了前馈逆补偿及PID反馈的复合控制策略。并基于TMS320F2812DSP数字控制器,完成了传统PID控制策略和逆补偿复合控制策略的阶跃响应效果对比实验。结果表明,逆补偿复合控制策略能很好的改善系统响应品质,超调量和响应时间得到了明显减少,实现了抛光液射流流量的快速、高精度控制。
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| 关 键 词： | 逆补偿 复合控制 抛光液供给 |
Design of polishing fluid supply system based on compound control of inverse compensation |
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| Yin Zhisheng
,
Zheng Nan
,
Yu Miao
,
Peng Ji
,
Yan Feng.Design of polishing fluid supply system based on compound control of inverse compensation[J].Journal of Electronic Measurement and Instrument,2013,27(4):366-371. |
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| Authors: | Yin Zhisheng Zheng Nan Yu Miao Peng Ji Yan Feng |
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| Affiliation: | Yin Zhisheng Zheng Nan Yu Miao Peng Ji Yan Feng(State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China) |
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