| 热激励谐振式硅微结构压力传感器 |
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| 引用本文： | 樊尚春,刘广玉.热激励谐振式硅微结构压力传感器[J].测控技术,2000,19(2). |
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| 作者姓名： | 樊尚春 刘广玉 |
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| 摘 要： | 对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件;硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究:建立了微传感器敏感结构的数学模型;敏感结构参数:方形膜边长4 mm,膜厚0.1 mm,梁谐振子长1.3 mm,宽0.08 mm,厚0.007 mm;对原理实验样件采用电热激励、压阻拾振方式作了开环测试,讨论了传感器的闭环系统.
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| 关 键 词： | 谐振式微传感器 硅微结构 压力传感器 |
Silicon Microstructure Resonator Pressure Sensor |
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| Fan Shangchun,Liu Guangyu.Silicon Microstructure Resonator Pressure Sensor[J].Measurement & Control Technology,2000,19(2). |
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| Authors: | Fan Shangchun Liu Guangyu |
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