| 高灵敏的酞菁铜薄膜NO_2气体传感器 |
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| 引用本文： | 傅敏恭,龙定华,游幼,赵湛,邹子亚,杨连贵. 高灵敏的酞菁铜薄膜NO_2气体传感器[J]. 电子学报, 1993, 0(2) |
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| 作者姓名： | 傅敏恭 龙定华 游幼 赵湛 邹子亚 杨连贵 |
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| 作者单位： | 江西大学化学系，江西大学化学系，中科院电子学研究所，中科院电子学研究所，中科院电子学研究所，中科院电子学研究所 南昌 330047，南昌 330047，北京 100080，北京 100080，北京 100080，北京 100080 |
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| 摘 要： | 本文采用真空气相物理沉积技术,在平面叉指电极上沉积酞菁铜薄膜制成的气体传感器。该传感器对NO_2有很高的灵敏度和良好的选择性,能检测出空气中1ppm浓度的NO_2,响应时间几十秒、恢复时间几分钟。在320℃下进行退火处理,传感器的稳定性和重复性有明显的改善。
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| 关 键 词： | 传感器 酞菁铜 NO_2响应 |
The Highly Sensitive NO_2 Sensors Based on Copper Phthalocyanine Thin Films |
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| Fu Mingong,Long Dinghua. The Highly Sensitive NO_2 Sensors Based on Copper Phthalocyanine Thin Films[J]. Acta Electronica Sinica, 1993, 0(2) |
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| Authors: | Fu Mingong Long Dinghua |
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| Keywords: | Sensor Copper phthalocyanine NO2 response |
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