| IntelliSuite® EMagAnalysis:一种真实形变结构的S参数提取工具 |
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| 引用本文： | 徐帆 张善亮 周磊 徐波. IntelliSuite® EMagAnalysis:一种真实形变结构的S参数提取工具[J]. 传感技术学报, 2006, 19(5): 1892-1895 |
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| 作者姓名： | 徐帆 张善亮 周磊 徐波 |
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| 作者单位： | 徐帆（江苏英特神斯科技有限公司,南京,210025） 张善亮（江苏英特神斯科技有限公司,南京,210025） 周磊（江苏英特神斯科技有限公司,南京,210025） 徐波（江苏英特神斯科技有限公司,南京,210025） |
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| 摘 要： | 将IntelliSuite(R)EMagAnalysis电磁分析模块与IntelliSuite(R) TEMAnalysis热机电耦合分析模块结合起来,利用两模块之间数据结构的兼容性,提取真实形变结构的S参数的方法.并用这种方法分析了RF开关的一种经典结构,取得了不错的效果,同时填补了国际上相关领域的空白.
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| 关 键 词： | RF MEMS 数值计算 S参数 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1892-04 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
IntelliSuite®EMagAnalysis:an S-Parameter Extraction Tool for Real Deformed Structures |
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