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| 微机器人技术发展现状 | |
| 作者单位： | 上海大学精密机械工程系 |
| 摘 要： | 概述 1.自从美国加州大学贝克利分校于1987年首次研制成功Φ60～120μm的静电型微马达以后,近年来的微机械研究(在美国称为MEMS)仍趋上升趋势。据统计,美国国家科学基金会从1988年起开始资助MEMS的基础研究,每年投入200～300万美元,国防部从1992年起拨款支 |
| 关 键 词： | 微机器人 机器人 传感器 |
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