等离子体源离子注入同轴圆柱电极间的鞘层模型 |
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引用本文: | 孙牧,杨思泽,李兵,陈熙琛.等离子体源离子注入同轴圆柱电极间的鞘层模型[J].真空科学与技术学报,1997(3). |
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作者姓名: | 孙牧 杨思泽 李兵 陈熙琛 |
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作者单位: | 中国科学院物理研究所!北京100080 |
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摘 要: | 由等离子体源离子注入过程中圆筒零件与内电极构成的同轴圆柱电极间的鞘层扩展模型,推导出鞘层扩展前沿与扩展时间函数关系的微分方程,并利用二次样条插值法求出其数值解。这一结果可用来计算圆筒零件等离子体源内表面离子注入中每一脉冲时间内鞘层的扩展宽度,并依此计算出相应的注入剂量。
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关 键 词: | 等离子体源离子注入 鞘层 圆柱电极 |
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