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| 欧洲首次在200mm硅晶圆上生长出高质量的AIGaN／GaN异质结构 | |
| 摘 要： | 欧洲独立纳米电子研究中心IMEC与MOCVD设备供应商AIXTRON公司日前宣布，首次在200mm硅晶圆上成功生长出高质量高均匀性的AlGaN／GaN异质结构。
A1GaN／GaN异质结构在AIXTRON应用实验室中的300mm CRIUS MOCVD设备中生长得到， |
| 关 键 词： | AlGaN／GaN异质结构 AIGaN／GaN 硅晶圆 生长 质量 欧洲 MOCVD设备 设备供应商 |
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