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| 六硼化镧电子枪的电子束能量分散度 | |
| 引用本文： | 邵健中,袁永明,沈庆垓.六硼化镧电子枪的电子束能量分散度[J].微细加工技术,1988(2). |
| 作者姓名： | 邵健中 袁永明 沈庆垓 |
| 作者单位： | 浙江大学信电系 (邵健中，袁永明)，浙江大学信电系(沈庆垓) |
| 摘 要： | 一、引言六硼化镧阴极电子枪热发射电子束的能量分散度决定于热初速零散、布希(Boersh)效应和仪器加速电压的稳定度等。当仪器加速电压的稳定度足够高时,电子束的能量分散度主要决定于热初速零散和布希效应。我们用JEM—100CX透射电子显微镜所附带的电子能量分析器,测试了中国科学院北京科学仪器厂生产的六硼化镧阴极电子枪发射电子束的能量分散度,结果是2电子伏。 |
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