| Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7/Ba0.5Sr0.5TiO3复合薄膜介电性能的频率特性研究 |
| |
| 引用本文： | 李汝冠,高莉彬,蒋书文.Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7/Ba0.5Sr0.5TiO3复合薄膜介电性能的频率特性研究[J].电子元件与材料,2013(6):26-30. |
| |
| 作者姓名： | 李汝冠 高莉彬 蒋书文 |
| |
| 作者单位： | 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.50972024;No.60871049) |
| |
| 摘 要： | 采用射频磁控溅射法在蓝宝石基片上制备了Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7(BZN)/Ba0.5Sr0.5TiO3(BST)双层复合薄膜,并研究了该薄膜在100 kHz~6 GHz频率范围内的介电性能。研究结果表明,BZN/BST复合薄膜的介电性能具有良好的频率稳定性。该复合薄膜的介电常数在研究的频率范围内基本与频率无关;其介电损耗在频率低于1 GHz时与频率无关,在频率高于1 GHz时随频率的上升而略微增大;薄膜在研究的频率范围内具有稳定的介电调谐率。
|
| 关 键 词： | 频率特性 介电调谐 介电损耗 介电常数 铌酸锌铋(BZN) 钛酸锶钡(BST) |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ |
|
