锆钛酸铅铁电薄膜的制备及光伏特性研究进展 |
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引用本文: | 刘凯华,蔡苇,符春林,成计平,龚心波.锆钛酸铅铁电薄膜的制备及光伏特性研究进展[J].电子元件与材料,2013(10):1-5. |
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作者姓名: | 刘凯华 蔡苇 符春林 成计平 龚心波 |
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作者单位: | 重庆科技学院冶金与材料工程学院 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(No.51102288);重庆市自然基金重点资助项目(No.CSTC2011BA4027);电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金资助项目(No.KFJJ201104);重庆科技学院博士教授科研启动基金资助项目(No.CK2013B08);重庆市教委科学技术研究项目资助(No.KJ131402);重庆科技学院第七届大学生科技创新计划项目资助(No.2012028) |
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摘 要: | 介绍了铁电材料光伏效应的研究背景,指出了锆钛酸铅铁电薄膜光伏特性的研究意义。分析、归纳了锆钛酸铅铁电薄膜电极、膜厚和退火制度(退火温度、退火时间和退火气氛)等工艺参数与所制样品的界面层厚度、肖特基势垒以及取向的关系,综述了这些工艺参数对锆钛酸铅铁电薄膜光伏特性影响的研究现状,提出了锆钛酸铅铁电薄膜光伏特性研究中亟待解决的问题。
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关 键 词: | 锆钛酸铅 铁电薄膜 综述 光伏特性 电极 膜厚 退火制度 |
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