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锆钛酸铅铁电薄膜的制备及光伏特性研究进展
引用本文:刘凯华,蔡苇,符春林,成计平,龚心波.锆钛酸铅铁电薄膜的制备及光伏特性研究进展[J].电子元件与材料,2013(10):1-5.
作者姓名:刘凯华  蔡苇  符春林  成计平  龚心波
作者单位:重庆科技学院冶金与材料工程学院
基金项目:国家自然科学基金资助项目(No.51102288);重庆市自然基金重点资助项目(No.CSTC2011BA4027);电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金资助项目(No.KFJJ201104);重庆科技学院博士教授科研启动基金资助项目(No.CK2013B08);重庆市教委科学技术研究项目资助(No.KJ131402);重庆科技学院第七届大学生科技创新计划项目资助(No.2012028)
摘    要:介绍了铁电材料光伏效应的研究背景,指出了锆钛酸铅铁电薄膜光伏特性的研究意义。分析、归纳了锆钛酸铅铁电薄膜电极、膜厚和退火制度(退火温度、退火时间和退火气氛)等工艺参数与所制样品的界面层厚度、肖特基势垒以及取向的关系,综述了这些工艺参数对锆钛酸铅铁电薄膜光伏特性影响的研究现状,提出了锆钛酸铅铁电薄膜光伏特性研究中亟待解决的问题。

关 键 词:锆钛酸铅  铁电薄膜  综述  光伏特性  电极  膜厚  退火制度
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