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摘 要: | 可利用直径1.2 m加速器实现X线放射的MEMS元件日经BP社2006年6月29日报道日本京都大学利用MEMS技术,开发成功了一种可使用直径1.2 m的小型加速器进行X线放射的元件。先使加速后的电子通过基于MEMS的多层铝薄膜,然后使此时释放出来的光子产生共振,产生高能量后作为X线辐射出来。这种X线属于波长较长的“软X线”,可用于X线曝光设备等领域。一般而言,可使用环状电子加速器(同步加速器)产生X线。向加速器中释放电子,利用磁场将其封闭起来,使电子沿着圆周运动。将要直行的电子就能弯曲前行,随着速度的变化,就会作为电磁波的形式产生能量…
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