| 摘 要： | 具有一定厚度（10～15μ）的碳化钛覆层具有某些优异性能。例如：高熔点、高硬度、低滑动摩擦系数和一定的耐腐蚀性。因此它可用于制造某些特殊要求的工件。如要求高耐磨性，和在高真空或高温下工作的无法润滑的摩擦付（如球轴承或柱塞付）等等。但目前使用的碳化钛CVD工艺存在着下列一些问题，因而限制了它的应用范围。（1）CVD过程温度过高（≥1100℃），在这一温度下将使钢的晶粒粗化、并使其性能恶化。（2）由于碳化钛复层和钢基本间的热膨胀系数差别较大，因此使TiC复层的基体间的结合强度不够理想。（3）工件经过CVD之后，必需设法提高基体的强度，以免硬度很高的复层承载时因基体硬度不足而崩落。本文通过对CVD过程中某些化学反应的热力学分析，提出在反应室中加入海绵钛、并采用四氯化碳代替碳氢化合物作TiC的CVD过程中的供碳剂，使沉积温度降低到≤900℃。作者采取工件在进行CVD之前进行碳氮共渗处理，这样在沉积后、在TiC复层和基体之间形成一过渡层，它减少了TiC复层和基体间热膨胀系数差别，因此使结合强度提高了30%。把已沉积好的工件在充分脱氧的盐浴中重新加热后，在碱浴中淬火，可有效地强化工作基体。但沉积层厚度要烧损30%。目前，这一工艺已成功地用于电瓷行业中的修坯刀，机动丝锥和一些要求耐磨的零件上，并使其使用寿命大为提高。
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