| 超精密定位工作台 |
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| 引用本文： | 吴鹰飞,周兆英.超精密定位工作台[J].微细加工技术,2002(2):41-47. |
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| 作者姓名： | 吴鹰飞 周兆英 |
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| 作者单位： | 清华大学精密仪器与机械学系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 在许多高技术领域需要超精密工作台为其技术支持。就电磁式工作台、直线电机式工作台、压电式工作台、摩擦驱动式工作台、MEMS工作台和其它类型工作台的原理、性能和应用作了介绍。并分析了它们各自的特点。根据不同的应用要求可选用合适的超精密定位方案。
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| 关 键 词： | 超精密定位 工作台 电磁式 直线电机式 压电式 摩擦驱动式 半导体 制造 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)02-0041-07 |
| 修稿时间： | 2002年1月6日 |
Ultra Precision Stages |
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| WU Ying-fei,ZHOU Zhao-ying.Ultra Precision Stages[J].Microfabrication Technology,2002(2):41-47. |
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| Authors: | WU Ying-fei ZHOU Zhao-ying |
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| Abstract: | Ultra precision stages are indispensable in a lot of high technical fields. The principles, performances and applications of magnetic stages, linear motor stages, piezodriven stages, friction driven stages, MEMS stages and other stages are introduced. The relative merits of stages are analyzed. The right type of stage could be chosen based on the application. |
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| Keywords: | s:ultra precision positioning |
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