| 一种新型SAW气体传感器的设计 |
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| 引用本文： | 王露,王登攀,杜波,鄢秋娟,张静雯,唐永亮,杨靖,江洪敏. 一种新型SAW气体传感器的设计[J]. 压电与声光, 2015, 37(1): 20-23 |
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| 作者姓名： | 王露 王登攀 杜波 鄢秋娟 张静雯 唐永亮 杨靖 江洪敏 |
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| 作者单位： | （1.中国电子科技集团公司第26研究所，重庆 400060；;2.电子科技大学 物理电子学院，四川 成都 610054） |
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| 基金项目： | 预研基金资助项目(9140A23070113DZ36067)〖HTH〗〓〓作者简介：〖HTSS〗王露（1985 ），男，重庆璧山人，工程师，硕士，主要从事声学器件、组件的研究。 |
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| 摘 要： | 提出了将纳米线技术与声表面波(SAW)技术相结合,分别利用纳米线气体敏感材料比表面积高,声表面波传感器质量敏感性高的优点,探索研制新一代声表面波气体传感器。该传感器具有响应速度快,灵敏度高,体积小,质量注和易集成等优点。该文主要从SAW专用芯片的研制、专用纳米线研制、专用纳米线的表面修饰与改性研究、检测电路设计等4方面进行了阐述。理论计算表明,相比传统二维结构的SAW气体传感器,三维纳米线结构的SAW气体传感器的在灵敏度和响应速度上都得到提高。
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| 关 键 词： | 声表面波 纳米线 气体传感器 比表面积 灵敏度 |
Design of a Novel SAW Gas Sensor |
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| WANG Lu,WANG Dengpan,DU Bo,YAN Qiujuan,ZHANG Jingwen,TANG Yongliang,YANG Jing and JIANG Hongmin. Design of a Novel SAW Gas Sensor[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2015, 37(1): 20-23 |
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| Authors: | WANG Lu WANG Dengpan DU Bo YAN Qiujuan ZHANG Jingwen TANG Yongliang YANG Jing JIANG Hongmin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SAW nanowire gas sensor specific surface area sensitivity |
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