| 聚二甲基硅氧烷基Fe10Co90褶皱薄膜表面形貌与静态磁性能 |
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| 引用本文： | 郭勤皇,程文娟,詹清峰. 聚二甲基硅氧烷基Fe10Co90褶皱薄膜表面形貌与静态磁性能[J]. 磁性材料及器件, 2021, 52(2): 6-11. DOI: 10.19594/j.cnki.09.19701.2021.02.002 |
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| 作者姓名： | 郭勤皇 程文娟 詹清峰 |
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| 作者单位： | 华东师范大学 物理与电子科学学院, 上海 200062 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 以施加20％的单轴拉伸预应变的超弹性聚二甲基硅氧烷(PDMS)为基(衬)底,采用磁控溅射方法制备Ta缓冲层和Fe10Co90(FeCo)磁性薄膜.衬底预应变释放后,样品表现出周期性褶皱形貌.采用原子力显微镜、振动样品磁强计对FeCo样品的表面形貌和室温静态磁性进行表征,研究了其磁各向异性与表面形貌、机械拉伸应变的依赖关系.样品表面周期性褶皱形貌的波长、起伏度以及样品的单轴磁各向异性均随薄膜厚度的增大而增大.由于表面褶皱结构的应变释放作用,机械拉伸应变的施加基本不改变薄膜的磁各向异性,为制备保持性能不变的柔性磁电子器件提供一种有效的思路.
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| 关 键 词： | FeCo褶皱薄膜 静态磁性 磁各向异性 表面形貌 聚二甲基硅氧烷衬底(PDMS) |
Surface morphology and static magnetic property of wrinkled Fe10Co90 film grown on polydimethylsiloxane |
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| GUO Qin-huang,CHENG Wen-juan,ZHAN Qing-feng. Surface morphology and static magnetic property of wrinkled Fe10Co90 film grown on polydimethylsiloxane[J]. Journal of Magnetic Materials and Devices, 2021, 52(2): 6-11. DOI: 10.19594/j.cnki.09.19701.2021.02.002 |
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| Authors: | GUO Qin-huang CHENG Wen-juan ZHAN Qing-feng |
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