| 半球陀螺谐振子的金属化镀膜工艺技术研究 |
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| 引用本文： | 张挺,徐思宇,冒继明,谭文耀,蒋春桥. 半球陀螺谐振子的金属化镀膜工艺技术研究[J]. 压电与声光, 2006, 28(5): 538-540 |
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| 作者姓名： | 张挺 徐思宇 冒继明 谭文耀 蒋春桥 |
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| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060 |
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| 摘 要： | 高品质因数(即高Q值,Q>107)的石英半球谐振子是制造高精度半球谐振陀螺的关键,而球面金属化镀膜工艺是半球振子制造的重要工艺环节。该文介绍了金属化镀膜工艺及其膜层均匀性对谐振子品质因数的影响及降低膜层残余应力的工艺解决方案等。
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| 关 键 词： | 半球谐振陀螺 半球谐振子 内摩擦力 磁控溅射 金属化 |
| 文章编号： | 1004-2474(2006)05-0538-03 |
| 收稿时间： | 2006-08-16 |
| 修稿时间： | 2006-08-16 |
Study on Metallic Coating Technique of the Hemis-pherical Resonator |
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| ZHANG Ting,XU Si-yu,MAO Ji-ming,TAN Wen-yao,JIANG Chun-qiao. Study on Metallic Coating Technique of the Hemis-pherical Resonator[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2006, 28(5): 538-540 |
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| Authors: | ZHANG Ting XU Si-yu MAO Ji-ming TAN Wen-yao JIANG Chun-qiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hemispherical resonator gyroscopes hemispherical resonator internal friction magnetic sputtering metallic coating |
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