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半导体气敏元件自动检测装置的研究
作者姓名:
于国俊 刘茵
摘 要:
对气体传感器性能的检测,将直接影响到传感器的质量,应用和发展,只有把气体传感器的各项参数精确的测试清楚,才能可靠的发挥其作用,该装置通过配气系统和计算机测试系统对气敏元件的各项参数进行检测,从而大大提高了检测气敏元件的精密度。
关 键 词:
气敏元件 自动检测 气体传感器
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