| ZnO纳米线的制备及其气敏特性北大核心 |
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| 引用本文： | 位子涵孙永娇胡杰.ZnO纳米线的制备及其气敏特性北大核心[J].微纳电子技术,2015(11):701-706. |
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| 作者姓名： | 位子涵孙永娇胡杰 |
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| 作者单位： | 1.太原理工大学信息工程学院微纳系统研究中心030024; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51205274)；博士点基金资助项目(20121402120008)；山西省青年科学基金资助项目(2013021017-2)；山西省归国留学择优资助项目([2014]95)；山西省归国留学基金资助项目(2013-035)；山西省科技重大专项资助项目(20121101004)；山西省高等学校特色重点学科建设项目(晋教财[2012]45号) |
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| 摘 要： | 采用水热法制备了ZnO纳米线,利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)对其物相及微观形貌进行了表征和分析。测试结果表明,ZnO纳米线的平均直径和长度分别约为250 nm和10μm。同时,研究了ZnO纳米线气体传感器对挥发性有机化合物(VOC)的气敏特性。实验结果表明,ZnO纳米线的气体传感器在最佳工作温度200℃下,对浓度5×10-7乙醇和丙酮气体的灵敏度分别可达4.58和2.63,相应的响应时间分别为9和6 s,恢复时间均为3 s。其最低检测极限为5×10-8,表明该传感器对不同环境中乙醇和丙酮气体的检测具有潜在应用前景。最后,对ZnO纳米线气体传感器的气敏机理进行了讨论。
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| 关 键 词： | 水热法 ZnO纳米线 挥发性有机化合物(VOC) 气敏特性 灵敏度 |
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