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| 微辐射热计的光学与热学设计 | |
| 作者姓名： | 董良岳瑞峰 刘理天 |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所,北京,100084 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金 (批准号 5 9995 5 5 0 1),清华大学“985”基金资助 项目~~ |
| 摘 要： | 针对四臂微桥结构的微辐射热计的光学和热学设计,分析了Si02红外吸收层／poly-Si热敏感薄膜电阻层／Si02支撑薄膜层的多层薄膜的光学特性,研究了Si02红外吸收层的厚度对多层膜系平均红外吸收率的影响。与常规设计思想不同的是,没有假设微辐射热计的平均红外吸收率一定,而将不同厚度的Si02红外吸收层所对应的膜系平均红外吸收率用于微桥的热学设计中,通过有限元分析软件ANSYS5。7,得到Si02红外吸收层的最佳厚度,并对微桥支撑臂进行了优化设计。 |
| 关 键 词： | 微辐射热计 光学设计 热学设计 红外吸收率 红外焦平面阵列 微测辐射热计 红外辐射 |
| 收稿时间： | 2002-03-25 |
| 修稿时间： | 2002-03-25 |
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