| 石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化 |
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| 引用本文： | 牛德芳,于国良,刘静,孙正鼐. 石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化[J]. 仪表技术与传感器, 2005, 0(4): 58-59 |
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| 作者姓名： | 牛德芳 于国良 刘静 孙正鼐 |
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| 作者单位： | 威海双丰电子集团有限公司,山东,威海,264209 |
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| 基金项目： | 国家"八六三"项目(2004AA404210) |
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| 摘 要： | 介绍一种新的电容式石油勘探MEMS Sensor生产过程中氧化、光刻、刻蚀主要工艺的选择原则和理论依据。
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| 关 键 词： | MEMS Sensor 氧化 光刻 刻蚀 |
| 文章编号： | 1002-1841(2005)04-0058-02 |
| 修稿时间： | 2005-01-21 |
Technique Optimization in Production of Petroleum Exploration MEMS Sensor |
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| NIU De-fang,YU Guo-Liang,LIU Jing,SUN Zheng-nai. Technique Optimization in Production of Petroleum Exploration MEMS Sensor[J]. Instrument Technique and Sensor, 2005, 0(4): 58-59 |
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| Authors: | NIU De-fang YU Guo-Liang LIU Jing SUN Zheng-nai |
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| Abstract: | The principle and theory of selecting the main techniques such as oxidation,lithography and etch in the production of a new kind of capactiance Petroleum Exploration MEMS Sensor were introduced. |
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| Keywords: | MEMS Sensor Oxidation Lithography Etch |
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