| 热处理温度对磁控溅射AZO薄膜的电学性能影响 |
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| 引用本文： | 赵斌,唐立丹,王冰. 热处理温度对磁控溅射AZO薄膜的电学性能影响[J]. 压电与声光, 2017, 39(3): 417-420 |
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| 作者姓名： | 赵斌 唐立丹 王冰 |
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| 作者单位： | 辽宁工业大学 材料科学与工程学院, 辽宁 锦州 121001 |
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| 基金项目： | 国家教育部重点基金资助项目（2012031）；辽宁省自然科学基金资助项目（2015020215）；辽宁省高校优秀人才计划基金资助项目（LJQ2015050）辽宁省高等学校创新团队基金资助项目（LT2013014） |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射制备了Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜,通过X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及四探针等手段对薄膜进行了表征,研究了不同热处理温度对AZO薄膜的形貌、结构和电学性能的影响。研究表明,Al的掺杂体积分数约为1.2%,随着热处理温度的升高,薄膜颗粒大小均匀,AZO薄膜衍射峰强度先增强后减弱,当热处理温度为450℃时,该AZO薄膜的结晶性最好,电阻率最小为0.024 7Ω·cm。
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| 关 键 词： | 磁控溅射 AZO薄膜 热处理温度 结构特性 电阻率 |
Effect of Heat Treatment Temperature on the Electrical Properties of AZO Thin Films by Magnetron Sputtering |
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| ZHAO Bing,TANG Lidan,WANG Bing. Effect of Heat Treatment Temperature on the Electrical Properties of AZO Thin Films by Magnetron Sputtering[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2017, 39(3): 417-420 |
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| Authors: | ZHAO Bing TANG Lidan WANG Bing |
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| Affiliation: | School of Materials science and engineering, Liaoning University of technology, Jinzhou 121001, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering AZO thin films the heat treatment temperature structural properties resistivity |
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