基于脉冲数据采集法功率图示仪校准仪的研制

大功率智能图示仪是用来测量功率半导体器件直流及I/V参数的测试设备,是半导体器件质量控制的必备设备。脉冲测试法为该类设备内部参数测量原理,目前校准难点主要体现在内部集电极电流偏转系数、阶梯电流源、阶梯电压源的校准缺乏整体校准方案。本文通过研究基于脉冲分流器和脉冲电压测量单元的脉冲数据采集法,研制主控模块、多路选择矩阵模块、集电极电流校准模块、阶梯电流校准模块、阶梯电压校准模块、采样保持电路模块、程控放大电路模块、数据处理电路A/D模块、程控基准电源模块、定时模块、触发模块、USB通信模块等模块,推出了一种基于脉冲数据采集法的功率图示仪校准仪,填补了国内功率图示仪校准仪的空白,并通过对关键参数测量不确定度的评定,证明其能够满足大功率智能图示仪校准需要。