| 磁控真空电弧沉积TiN膜的扫描电镜分析 |
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| 引用本文： | 程仲元 邹积岩. 磁控真空电弧沉积TiN膜的扫描电镜分析[J]. 微细加工技术, 1996, 0(2): 44-48 |
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| 作者姓名： | 程仲元 邹积岩 |
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| 作者单位： | 华中理工大学电力系 |
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| 摘 要： | 利用扫描电镜，分析了磁控电弧沉积的氨化钛膜微观形貌。实验表明，阴极磁场对膜层的形貌有显著的影响，合理的磁场设计可减少膜层中的宏观颗粒（ＭＰ）；膜的表面形貌主要受ＭＰ的影响，但当基片表面起弧时，弧痕对表面形貌的影响比ＭＰ的影响大；ＭＰ粒径多数在１～３微米之间，但少数的ＭＰ也可能大于十几微米或１微米以下。对ＭＰ的形貌分析表明，ＭＰ的形态与其粒径有关，较小的ＭＰ顶部呈圆球形，而较大的ＭＰ顶部扁平，且底部有微孔。
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| 关 键 词： | 真空电弧；离子镀；氮化钛膜；微观形貌；宏观颗粒 |
SEM ANALYSIS OF TIN FILM PREPARED BY MAGNETIC FIELD-STEERED VACUUM ARC |
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| Cheng Zhongyuan, Zou Jiyan,Yang Lei. SEM ANALYSIS OF TIN FILM PREPARED BY MAGNETIC FIELD-STEERED VACUUM ARC[J]. Microfabrication Technology, 1996, 0(2): 44-48 |
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| Authors: | Cheng Zhongyuan Zou Jiyan Yang Lei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vacuum arc ion coating titanium nitride film morphology analysis macroparticles |
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