| 离子注入技术在气敏材料上的应用 |
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| 引用本文： | 张涛,张荟星,等.离子注入技术在气敏材料上的应用[J].微细加工技术,1996(4):5-8. |
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| 作者姓名： | 张涛 张荟星 |
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| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所 |
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| 摘 要： | 离子注入技术已被应用于气敏材料的开发研究，这是离子注入技术的一个较新的应用领域。本文介绍离子注入技术对气敏材料表面层组分、结构、电导率及气敏特性进行改性的研究进展。
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| 关 键 词： | 离子注入 气敏元件 材料改性 |
APPLICATIONS OF ION IMPLANTATION TO GAS SENSITIVE MATERIALS |
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| Zhang Tao, Zhang Huixing, Zhang Tonghe, Ma Benkun.APPLICATIONS OF ION IMPLANTATION TO GAS SENSITIVE MATERIALS[J].Microfabrication Technology,1996(4):5-8. |
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| Authors: | Zhang Tao Zhang Huixing Zhang Tonghe Ma Benkun |
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| Abstract: | Ion implantation has been applied to the research and development of gas sensitive materials. This is a new application tield of ion implantation fechnique.In this paper we introduce the researches on ion implantation.modification of surface layer composition, construction, conductivity and gas sensitive characterization of gas sensitive materials. |
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| Keywords: | ion implantation gas sensitive device materials modification |
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