| 碳化硅加热元件的电性能和使用 |
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| 引用本文： | 龚汨清.碳化硅加热元件的电性能和使用[J].微细加工技术,1996(2):71-78. |
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| 作者姓名： | 龚汨清 |
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| 作者单位： | 电子工业部第四十八研究所 |
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| 摘 要： | 本文介绍碳化硅加热元件的电特性、表面负荷以及工作气氛对它的影响，并对它设计和使用要点举例予以说明。
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| 关 键 词： | 碳化硅加热元件 电特性 表面负荷 气氛 |
ELECTRIAL CHARACTERISTICS AND APPLICATIONS OF SILICON CARBIDE HEATING ELEMENTS |
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| GONG MIQING.ELECTRIAL CHARACTERISTICS AND APPLICATIONS OF SILICON CARBIDE HEATING ELEMENTS[J].Microfabrication Technology,1996(2):71-78. |
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| Authors: | GONG MIQING |
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| Abstract: | The electrical characteristics and surface loading of silicon carbide heatingelements and effects of various atmospheres on them are introduced. An exampleis given to explain key points for designs and applications. |
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| Keywords: | silicon carbide heating elements electrical characteristics surface loading atmosphere |
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