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| 铝铜薄膜复合技术的研究现状 | |
| 引用本文： | 陈丽,邢丕峰,魏成富,郭建军,蒋斌.铝铜薄膜复合技术的研究现状[J].热加工工艺,2014(22):26-29,33. |
| 作者姓名： | 陈丽 邢丕峰 魏成富 郭建军 蒋斌 |
| 作者单位： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;西华大学材料学院;绵阳师范学院 |
| 摘 要： | 综述了铝、铜薄膜复合技术的研究现状,介绍了气相沉积法和扩散连接方法对铝、铜薄膜的复合。气相沉积分为化学气相沉积和物理气相沉积,最受人们青睐的是物理气相沉积中的磁控溅射沉积法;扩散连接方法中讲述了扩散连接的过程,扩散工艺参数对扩散层组织结构、扩散层厚度的影响。 |
| 关 键 词： | 铝 铜 薄膜 气相沉积 扩散连接 |
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