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光开关研究进展
引用本文:王刚,明安杰,梁静秋. 光开关研究进展[J]. 微纳电子技术, 2005, 42(4): 195-199
作者姓名:王刚  明安杰  梁静秋
作者单位:1. 中国电子科技集团公司第四十七研究所,沈阳,110032
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,应用光学国家重点实验室,长春,130033
摘    要:概述了光开关的各种性能指标;综述了目前业已实用或正在研究的光开关阵列的各种制作技术,分析了其发展趋势;最后介绍了MOEMS光开关的结构和工作原理。

关 键 词:光通信  光开关  微光机电系统
文章编号:1671-4776(2005)04-0195-05
修稿时间:2004-12-09

Development of the Optical Switch
WANG Gang,MING An-jie,LIANG Jing-qiu. Development of the Optical Switch[J]. Micronanoelectronic Technology, 2005, 42(4): 195-199
Authors:WANG Gang  MING An-jie  LIANG Jing-qiu
Affiliation:WANG Gang1,MING An-jie2,LIANG Jing-qiu2
Abstract:The capabilities of the optical switches are presented. The manufacturing techniques of the switch array in using or under research are reviewed. Its developing trend is analyzed,and the structure and principle of MOEMS optical switches are introduced.
Keywords:optical communication  optical switch  MOEMS
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