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| 一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型 | |
| 引用本文： | 王凌,赵学增,褚巍,肖增文,王飞. 一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型[J]. 计量技术, 2004, 0(3): 3-6 |
| 作者姓名： | 王凌 赵学增 褚巍 肖增文 王飞 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 用原子力显微镜 (AFM )来测量纳米线宽近几年发展迅速。针对AFM能对纳米线宽表面三维成像的特点 ,本文提出了一个直方图线宽计算模型 ,并通过实验数据同其他模型进行了比较。该线宽计算模型具有算法简单、抗干扰能力强的优点 |
| 关 键 词： | 纳米线宽 计算模型 直方图 原子力显微镜 |
A Na-scale Linewidth Model Based on the Histogram |
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