| 三氟化氮纯化方法进展 |
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| 引用本文： | 彭立培,王少波,李绍波,付嫚.三氟化氮纯化方法进展[J].化学工业与工程,2007,24(1):86-90,94. |
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| 作者姓名： | 彭立培 王少波 李绍波 付嫚 |
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| 作者单位： | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北,邯郸,056027;中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北,邯郸,056027;中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北,邯郸,056027;中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北,邯郸,056027 |
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| 摘 要： | 介绍了三氟化氮(NF3)的基本物化性质及生产方法.为了满足电子工业对其纯度要求,采用的三氟化氮纯化方法有:低温精馏法、共沸精馏法、吸收法、选择吸附法以及各种方法的联用技术.
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| 关 键 词： | 三氟化氮 纯化 精馏 吸收 吸附 |
| 文章编号： | 1004-9533（2007）01-0086-05 |
| 收稿时间： | 2006-01-24 |
| 修稿时间： | 2006-01-24 |
Review on Process for Purifying Nitrogen Trifluoride |
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| PENG Li-pei,WANG Shao-bo,LI Shao-bo,FU Man.Review on Process for Purifying Nitrogen Trifluoride[J].Chemical Industry and Engineering,2007,24(1):86-90,94. |
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| Authors: | PENG Li-pei WANG Shao-bo LI Shao-bo FU Man |
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| Affiliation: | The 718 Research Institute of China Shipbuilding Industry Corporation, Handan 056027, Hebei Province, China |
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| Abstract: | This paper reviews the basic physical and chemical property of nitrogen trifluoride,including its production method.In order to meet the need of semiconductor industry,the applied purification methods for nitrogen trifluoride are:cryogenic distillation,azeotropic distillation,absorption,selective adsorption and the combination of them. |
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| Keywords: | nitrogen tfifluoride purification distillation absorption adsorption |
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