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| 直流磁控溅射法制备高品质钛铝共掺杂氧化锌透明导电薄膜 | |
| 作者姓名： | 王振环 袁文峰 |
| 摘 要： | 利用直流磁控溅射法在室温水冷玻璃衬底上成功制备出高品质的钛铝共掺杂氧化锌（TAZO）透明导电薄膜。XRD研究结果表明,TAZO薄膜为具有c轴择优取向的六角纤锌矿结构的多晶薄膜,偏压为-20V时制备的厚度为365nm的薄膜的方块电阻为10．15Ω／？,最小电阻率为3．70×10^-4·cm,所有薄膜样品在500-800n... |
| 关 键 词： | TAZO 薄膜 透明导电薄膜 磁控溅射 偏压 |
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