多弧离子镀中磁场对电弧运动影响的研究 |
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引用本文: | 王福贞,周友苏,唐希源,袁哲,张树林.多弧离子镀中磁场对电弧运动影响的研究[J].真空科学与技术学报,1991(3). |
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作者姓名: | 王福贞 周友苏 唐希源 袁哲 张树林 |
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作者单位: | 北京联合大学机械工程学院
(王福贞,周友苏,唐希源),北京电炉厂
(袁哲),东北工学院(张树林) |
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摘 要: | 多弧离子镀技术中的关键部件是蒸发源,蒸发源的电弧放电特性受磁场的严格控制。本文对真空电弧等离子体在磁场中的受力进行了分析,研究了磁场对电弧运动的影响规律。
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