光刻机工作台永磁同步电机伺服控制系统设计 |
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引用本文: | 丁桃宝,万斌斌,戴磊,田会峰.光刻机工作台永磁同步电机伺服控制系统设计[J].伺服控制,2019(2):34-36. |
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作者姓名: | 丁桃宝 万斌斌 戴磊 田会峰 |
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作者单位: | 苏州晋宇达实业股份有限公司 |
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摘 要: | 工作台是光刻机的重要部件之一,为了更好地实现直线大行程运动以及准确度的粗定位,本文提出了一种基于DSP的永磁同步电机伺服控制系统。本文结合永磁同步电机各方面良好的性能,详细介绍了控制系统的控制板和驱动板,控制板主要采用了TI公司的电机控制芯片TMS320F2808为控制核心,功率驱动板主要由三相桥式逆变主电路、光耦隔离电路、信号采集电路和保护电路组成。通过实验验证,系统在稳定性、快速性以及准确性上都达到了要求。
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关 键 词: | 光刻机工作台 永磁同步电机 伺服控制系统 |
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