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| 适用于电容式MEMS传感器的微小电容检测系统 | |
| 引用本文： | 王宇,张晓明,白渚铨,赵鑫炉. 适用于电容式MEMS传感器的微小电容检测系统[J]. 电子技术应用, 2014, 0(5) |
| 作者姓名： | 王宇 张晓明 白渚铨 赵鑫炉 |
| 作者单位： | 中北大学电子测试技术国防科技重点实验室; |
| 基金项目： | 国家自然基金(61171056) |
| 摘 要： | 针对电容式微机械陀螺测量困难的问题,设计了基于电容检测芯片AD7747和STM21F405单片机组合的微小电容检测系统。该系统主要包括I2C数据通信模块、串口通信模块、Flash存储模块以及单片机控制模块。最后通过实验来对其性能进行测试可得,该系统能够实现对微小电容的精确测量,分辨率可达1.6 fF,能够满足对电容式MEMS器件微弱信号的检测。 |
| 关 键 词： | 微小电容 AD7747 MEMS传感器 STM32F405 |
A tiny capacitance detection system applied in capacitive MEMS sensor |
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