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InUP系单片集成波长分离器件的设计和制作
引用本文:吕章德,杨易.InUP系单片集成波长分离器件的设计和制作[J].光学仪器,1997,19(4):98-102.
作者姓名:吕章德  杨易
作者单位:[1]绍兴文理学院物理系 [2]中科院上海冶金研究所
摘    要:设计和制作了InP/InGaAsP单输入光波导,多输出光波导,和光栅的单片集成波长分离器件,文中给出了器件和设计参数,以及制作工艺,并给出了该器件物测试原理图。

关 键 词:波分复用  波长分离器件  磷化铟  光波导
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