| 纳机电系统研究进展 |
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| 引用本文： | 何洋,姜澄宇,苑伟政.纳机电系统研究进展[J].纳米科技,2006,3(5):26-30. |
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| 作者姓名： | 何洋 姜澄宇 苑伟政 |
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| 作者单位： | 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西,西安,710072;西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西,西安,710072;西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西,西安,710072 |
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| 摘 要： | 综述了纳机电系统（NEMS）的研究进展；介绍了美国与欧洲在NEMS军用和航空航天领域的研究目标和进展，以及一些典型NEMS器件的应用；讨论了NEMS检测与表征技术以及NEMS制造技术；探讨了NEMS研究发展趋势。
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| 关 键 词： | 纳机电系统 纳米技术 航空航天 |
| 文章编号： | 1812-1918（2006）05-0026-05 |
| 收稿时间： | 2006-08-21 |
Nanoelectromechanical System |
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| Authors: | HE Yang JIANG Cheng-yu YUAN Wei-zheng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | nanoelectromechanical system nanotechnology military and aerospace |
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