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| GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展 | |
| 引用本文： | 阿不都热苏力,森下羲隆. GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展[J]. 中国有色金属学报, 2004, 14(Z2): 260-262 |
| 作者姓名： | 阿不都热苏力 森下羲隆 |
| 作者单位： | 1. 新疆大学物理系,乌鲁木齐,830046 2. 東京都農工大学工学部,東京,184-0012 |
| 基金项目： | 新疆少数民族科技骨干人才科研项目 |
| 摘 要： | 阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展. |
| 关 键 词： | 光子晶体 光子禁带 电子束微影 干蚀刻法 |
| 文章编号： | 1004-0609(2004)S3-0260-03 |
Fabrication of GaAs two-dimensional photonic crystals and its development |
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