| 微混合器研究进展 |
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| 引用本文： | 朱丽,侯丽雅,章维一.微混合器研究进展[J].微纳电子技术,2005,42(4):164-171,199. |
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| 作者姓名： | 朱丽 侯丽雅 章维一 |
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| 作者单位： | 南京理工大学机械工程学院,南京,210094 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(50275079)，博士学科专项科研基金(20010288013) |
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| 摘 要： | 微混合器作为微全分析系统重要的组成部分,是目前微机电系统(MEMS)领域内的研究热点。文章介绍了微混合器的设计要求与目标、加工方法与材料的选择、微混合的特点与混合机理。微混合器一般可分为主动混合器与被动混合器,基于此分类方法,文章综述了微混合器的国内外研究现状,并讨论了目前研究中存在的一些问题,展望了微混合器的研究前景。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微全分析系统 微混合器 主动混合器 被动混合器 |
| 文章编号： | 1671-4776(2005)04-0164-08 |
Review of the Research on Micromixer |
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| ZHU Li,HOU Li-ya,ZHANG Wei-yi.Review of the Research on Micromixer[J].Micronanoelectronic Technology,2005,42(4):164-171,199. |
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| Authors: | ZHU Li HOU Li-ya ZHANG Wei-yi |
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| Abstract: | As the key part of micro total analysis systems,micromixers are researched widely in the field of MEMS recently. The design goals,fabrication techniques and materials of micromixers and the mixing mechanism are introduced. Micromixers are mainly divided into passive mixers and active mixers. The research status of micromixers are summarized. Existing problems and future direction are also discussed. |
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| Keywords: | MEMS micro total analysis systems micromixer active mixer passive mixer |
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